【EXTECH Explores】
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由于新型冠状病毒（COVID-19）疫情肆虐，人们的生活模式也因此改变，对于远距教学与商务会议的需求也随之增加，加速了5G、IoT、AI等产业发展，进而使得半导体需求不减反增。挟着市场的强大动能，第三代半导体也在近期强势登场。它采用了新的材料碳化矽(SiC)、氮化镓(GaN)，能承受更高电压和更大电流，对于各产业的发展都将带来更多的益处。但在提升半导体品质与产量的同时，我们仍需要注意制造设备的潜在风险，避免作业人员受到危害。
高性能的新一代半导体，需要更安全的制造设备
第三代半导体除了拥有高压和高电流的优势外，还具备更佳的导电性，这些优点让新一代半导体能不受严苛的工作环境影响正常运作。由于第三代半导体的电气性能大幅提升，它需要更安全的制造设备。 目前针对使用高电压的半导体制程设备，多以国际半导体产业协会的SEMI S22（半导体制造设备电气设计安全基准）为基准来预防电气所产生的危害，保障操作人员的安全（表１）。在进行耐压测试时会输入最多一分钟的1500v交流电，来确保设备能承受高压且不受损。机器在故障时电流应该要顺利地流往地面，因此，接地阻抗测试将会测量制程设备的接地端电阻是否小于0.1Ω。而设备表面上暴露的漏电流是操作人员在作业过程中最容易接触到的危险，为最小化触电风险，接触电流测试要求其表面不得有超过3.5mA的电流。
制造设备的安全，和半导体技术一样需要与时并进。华仪的SE 、ESA以及EST-300系列安规测试仪器皆能符合SEMI S22所要求的耐压、接地阻抗以及接触电流测试。即使同样在半导体产业链下，客户仍会依测试需求会选择不同的解决方案。针对精密度高的半导体设备，许多客户会选择具备高精度测量的华仪SE系列安规综合分析仪。
表１:半导体设备电气安全测试
| 测试项目 | 耐压测试 | 接地阻抗测试 | 接触电流测试 |
| 半导体制造设备 | 输入1500V后 无损坏 | 不可多于 0.1Ω | 不得超过3.5mA |
| 资料来源：SEMI S22 半导体制造设备电气设计安全基准 | |||
让华仪来守护半导体产业的安全
第三代半导体的发展将会带动5G、IoT、AI、电动车等产业更加蓬勃发展，同时我们更要确保半导体的相关制造安全，以更新的技术与更完善的安全打造美好的未来。
华仪电子拥有超过40年以上的产业经验，成功协助许多半导体产业的公司解决其电气安规测试的相关问题。我们也与国际实验室一同努力，确保半导体制造设备有足够的保护能保障操作人员的安全。如果您想了解更多关于电气安全，可以点选这里，了解完整的测试资讯，或是联系我们的销售人员进行咨询。
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